短訊！不只東進(jìn)世美肯，韓國(guó)還有兩家公司在研發(fā)極紫外光刻膠
2022-12-07 18:12:20|
來(lái)源：TechWeb 作者：
(資料圖)
12 月 7 日消息，據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道，本周早些時(shí)候，有外媒在報(bào)道中稱(chēng)，多年前就已在嘗試重構(gòu) EUV 光刻膠供應(yīng)鏈的三星電子，已經(jīng)首次將韓國(guó)本土廠商?hào)|進(jìn)世美肯的 EUV 光刻膠，用于他們的一條量產(chǎn)工藝線。
而從外媒的報(bào)道來(lái)看，除了已經(jīng)用于三星電子一條量產(chǎn)工藝線的東進(jìn)世美肯，韓國(guó)還有兩家公司在進(jìn)行 EUV 光刻膠的研發(fā)。
外媒在報(bào)道中提到的兩家公司，分別是 YOUNGCHANG 化學(xué)和 SK 材料，但這兩家公司研發(fā)的 EUV 光刻膠，還沒(méi)有達(dá)到進(jìn)行可靠性驗(yàn)證的水平。
三星電子等韓國(guó)半導(dǎo)體廠商嘗試重構(gòu) EUV 光刻膠供應(yīng)鏈，與 2019 年日本對(duì)韓國(guó)關(guān)鍵的原材料及設(shè)備的出口限制有關(guān)，其后韓國(guó)公司就開(kāi)始嘗試本土供應(yīng)。
產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入三星電子一條量產(chǎn)工藝線的東進(jìn)世美肯，就是在三星電子嘗試重構(gòu) EUV 光刻膠供應(yīng)鏈之后，開(kāi)始相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)的，他們所研發(fā)的 EUV 光刻膠，在三星電子的華城園區(qū)進(jìn)行了幾個(gè)月的驗(yàn)證，在去年年底通過(guò)了可靠性驗(yàn)證。
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