使用白光干涉儀過(guò)程中的疑問(wèn)
2021-11-25 18:20:05|
來(lái)源：網(wǎng)絡(luò) 作者：
1、問(wèn)：測(cè)量到最小尺寸能否達(dá)到12ΜM ，或者能夠測(cè)到更小尺寸？ 答：可以 ，垂直分辨率是 0.1 nm， XY分辨率依物鏡而有不同分辨率，垂直掃描范圍是150μm ，x、y測(cè)量行程超過(guò)100mm。 2、問(wèn)：載物臺(tái)的尺寸一般是多大？測(cè)量最大高度是多大范圍？Z軸測(cè)量的最高精度是多少？ 答：手動(dòng)載物平臺(tái)的尺寸：XY：150mm x 100mm Tip/Tilt：±3°PZT 掃瞄器的行程為150 μm ，故最大可能量測(cè)范圍是150μm ， 但請(qǐng)須考慮到載物臺(tái)，超過(guò)150μm ，可以視具體情況加高定做。Z 軸的運(yùn)動(dòng)精度在2個(gè)μm ，其每一步的掃描精度在75nm。 3、問(wèn)：投影掃描出來(lái)的圖形能夠一張張的圖片拼成一個(gè)整體的物件圖形？能否做到無(wú)縫連接？能否進(jìn)行三維圖形整合？ 答：可以的，我司掃描出來(lái)的圖形通過(guò)另一款分析軟件可將掃描出的圖形做到無(wú)縫拼接，而掃描出的圖形本身就有二維和三維的，所以三維圖形整合也是沒(méi)問(wèn)題，我們把這個(gè)叫做圖形縫紉。 4、問(wèn)：運(yùn)用平臺(tái)的移動(dòng)跳動(dòng)精度（重復(fù)精度）什么范圍？三軸線性精度范圍？ 答：SIS-1200機(jī)型因是手動(dòng)平臺(tái)，故沒(méi)有辦法提供精確的移動(dòng)再現(xiàn)性(人的手沒(méi)辦法每次都有精確的重復(fù)移動(dòng))三軸的運(yùn)動(dòng)精度分別為 X、Y軸5個(gè)μm ，Z軸在2個(gè)μm。 5、問(wèn)：能否配有標(biāo)準(zhǔn)目鏡？ 答：目鏡：以CCD取代目鏡，故沒(méi)有目鏡，但可以直接從計(jì)算機(jī)屏幕上看到影像。 物鏡：請(qǐng)查看敝公司提供給貴公司的物鏡清單，客戶可以加購(gòu)其他的鏡頭。 6、問(wèn)：測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)件是什么依據(jù)？有何驗(yàn)收方式？那些國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)可送的檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)件？ 答：敝公司有標(biāo)準(zhǔn)片做為校正依據(jù)。 7、問(wèn)：驗(yàn)收方式：確認(rèn)設(shè)備的量測(cè)性能規(guī)格(依標(biāo)準(zhǔn)片量測(cè)) 答：1sigma(同點(diǎn)量測(cè)20 次) 規(guī)格數(shù)字(一般是1 sigma 10nm 或是 3 sigma，簡(jiǎn)單的判定一般都是設(shè)備調(diào)試OK后，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)塊20次，其重復(fù)性在10個(gè)nm 8、問(wèn)：白光干涉儀為何如此昂貴？ 答：白光干涉儀是測(cè)量達(dá)到納米級(jí)的設(shè)備，目前世界上沒(méi)有幾家能夠研發(fā)生產(chǎn)，它對(duì)生產(chǎn)試驗(yàn)環(huán)境都有很高的要求，而且設(shè)備有許多高精度的核心部件。您想一想，1000個(gè)納米才是一個(gè)微米，所以如果要加工出這樣的設(shè)備，無(wú)論從硬件還是軟件上，難度是可想而知的。 9、問(wèn)：安裝和使用環(huán)境有特別要求嗎？ 答：溫度：20 oC+/-1；濕度：39% +/- 4%；噪音：75DB；電壓：220V；電流：MAX3A，正常2A。 10、問(wèn)：白光干涉儀和激光干涉儀有何區(qū)別？ 答：有一點(diǎn)您應(yīng)該知道，就是說(shuō)無(wú)論是激光干涉儀還是白光干涉儀，他們利用的都是光的干涉原理，從字面來(lái)理解呢，他們很重要的一個(gè)區(qū)別就是光源，那么激光和白光做光源到底有什么區(qū)別呢。 11、問(wèn)：為什么有的產(chǎn)品叫作白光干涉顯微鏡？ 答：其實(shí)白光干涉顯微鏡和白光干涉儀是同一個(gè)概念，之所以叫顯微鏡是因?yàn)樵谖覀円话愕母拍钪校加心跨R和物鏡，物鏡大家也知道有10倍，20倍等幾個(gè)可切換的倍率。白光干涉儀也一樣，有幾個(gè)可以切換的物鏡，所謂的目鏡其實(shí)就是CCD，再者大家也知道這種設(shè)備利用的是光的干涉原理，所以說(shuō) ，為什么有的人叫它干涉顯微鏡，有的人叫它干涉儀，實(shí)際上是一樣的。 12、問(wèn)：白光干涉儀能測(cè)量三維尺寸嗎？ 答：在量程范圍內(nèi)是可以的，但白光干涉儀主要還是應(yīng)用在為尺寸產(chǎn)品的微觀量測(cè)，包括表面粗糙度，表面輪廓，高度，長(zhǎng)寬等檢測(cè)。 13、問(wèn)： 該設(shè)備的聚焦方式為何？ 答： SIS-1200plus是手動(dòng)調(diào)焦，SIS-2000在不同對(duì)象時(shí)也是由人控制聚焦（自動(dòng)對(duì)焦行程只有150μm），但如果多次相同性對(duì)象，機(jī)臺(tái)可teaching自動(dòng)到設(shè)定的點(diǎn)位，所以自動(dòng)機(jī)的優(yōu)勢(shì)在相同的固定產(chǎn)品量測(cè)。 14、問(wèn)：該設(shè)備 平面測(cè)量的精度為何，重復(fù)性是多少？ 答： 平面測(cè)量的重復(fù)性是base在高度標(biāo)準(zhǔn)片下，1個(gè)sigma 小于10nm，而精度則在0.75%內(nèi)。 15、問(wèn)：該系列產(chǎn)品垂直掃描范圍有多大？ 答： SIS-2000和SIS-1200的垂直掃描范圍是0.2μm到150μm。 16、問(wèn)：測(cè)量樣品的表面反射情況對(duì)測(cè)量有影響嗎，有無(wú)具體數(shù)字上的界限？ 答：正常情況下是不太有影響的，最好還是拿sample回來(lái)試，我們也是有遇到全無(wú)反射光而無(wú)法量測(cè)的情況。 17、問(wèn)：花崗巖下面為何是氣浮式的？ 答：是為了隔離震動(dòng)，因?yàn)檫@種設(shè)備您知道他是納米級(jí)的，所以任何一點(diǎn)小的震動(dòng)，都可能對(duì)測(cè)量的數(shù)據(jù)有影響，而這種微小的差異肉眼是察覺(jué)不到的。（最好再簡(jiǎn)單強(qiáng)調(diào)一下氣浮隔離震動(dòng)的原理） 18、問(wèn)：該設(shè)備的核心部件是自己生產(chǎn)的嗎？ 答：我們的光學(xué)部分是日本NIKON，而目前日本NIKON的光學(xué)精密部件大家知道是世界上做的最好的，而整個(gè)機(jī)器的設(shè)計(jì)，組裝，控制電氣部分，軟件全部由韓國(guó)SNU自己研發(fā)完成，在對(duì)設(shè)備的應(yīng)用及解決行業(yè)內(nèi)的問(wèn)題，SNU無(wú)疑是首屈一指的。
